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ロールツーロール式小型実験用真空成膜装置
■ 特徴

ロールツーロールにてフィルム基板上に連続的に薄膜形成ができる装置です。コンパクトでエコノミーな装置ですので、研究開発に適しています。フィルム搬送系に工夫をすることで、高速成膜が可能となります。

・装置全体

※本装置は、「平成21年度ものづくり中小企業製品開発等支援補助金」により開発したものです。

 ・チャンバー内部
■ 仕様(参考値)
  •   フィルム幅    :  Max 100mm
  •   フィルム速度 :  0.2〜5m/min 可変、速度表示機能付き
  •   排気系        :  ターボ分子ポンプ+油回転ポンプ
  •   成膜方式     :  DCマグネトロンスパッタリング
  •   応用分野     :  タッチパネル、太陽電池、有機EL
  •   その他        :  ご要望に応じて各種オプションの設計製作も行います
 



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