ロールツーロール真空成膜装置
試験研究に最適な小型ロールツーロール成膜装置です。
仕様
| 成膜方式 | DCマグネトロンスパッタリング(オプションにてRFに対応します) |
|---|---|
| 基板搬送 | ロールツーロール(張力制御付)
速度0.2~3.0 m/min 張力15~80 N |
| ローラー面長 | 140mm |
| フィルム寸法 | 最大幅100mm、長さ100m(フィルム厚50μm) |
| 真空槽 | 幅360*高さ400*奥行300(内寸、mm) |
| 排気系 | ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ |
| 到達圧力 | 1*10-4 Pa (基板なしのとき) |
| 真空計 | ピラニゲージおよび広帯域電離真空計 |
| ガス導入系 | マスフローコントローラー(Ar、O2各1系統) |
| 操作系 | 手動操作 |
| ユーティリティ | 電源 3相200V*40A、冷却水 25°C以下15L/MIN(2kgf/cm2、水圧が低い場合の昇圧ポンプはオプション) |