装置・制御システム

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半導体

半導体

8inch, 12inchを中心とした、保管、搬送システムの最適化に寄与する提案をします。
カスタム・小ロット対応のご要望にもお応えします。
中国、台湾にも拠点を持ち、グローバルに対応します。

特徴

  • SMIF, FOUPの各キャリアに対応
  • 非接触給電、ワイヤレス給電
  • 専用ロボットアーム
  • クリーン、パーティクル対策
  • 既存設備の老朽化対策(Replace)
  • 省人化・ロボットとの協働
  • 安全対策 

実績例

  • RGV
  • AGV
  • 各種キャリア保管ストッカー
  • トラバーサー
  • キャリア搬送CV
  • 移載機