自社開発

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大気圧プラズマ処理装置

ロール状、シート状何れのワークも処理できます。
処理ヘッドのみの既設ラインへの取付にも対応します。

大気圧プラズマ処理装置
装置全体
外形寸法図
外形寸法図
装置構成
装置構成
処理ヘッド(プラズマ電極部)
処理ヘッド(プラズマ電極部)

特徴

ロールツーロールにてフィルム基板を連続的に表面処理することが可能です。

シート状ワークの処理も可能です。

処理ヘッドが小型のため、既設への取付も容易です。

仕様

処理方式 誘電体バリア放電(リモートプラズマ)
基板搬送 ロールツーロール(3インチ紙管対応、最大巻径150mm、搬送速度 1~15m/min)
真空吸着テーブル(330mm*410mm、搬送速度 ~15m/min)
プラズマ照射幅 330mm*3列
プラズマ発生用電源 入力3相200V, 50~60Hz, 消費電力 1.5kVA
ガス導入系 マスフローコントローラー(N2標準、その他のガス用はオプション)
操作系 手動操作
ユーティリティ 操作盤電源 単相100V、500W(最大)
圧空 4kgf/cm2以上(真空吸着テーブル用エジェクター)
N2ガス MIN40SLM/列
使用ガスの種類、運転条件におり排気設備が必要となります。

処理例

未処理PET・処理後

未処理PP・処理後

未処理Al・処理後

未処理Cu・処理後