大気圧プラズマ処理装置

ロール状、シート状何れのワークも処理できます。
処理ヘッドのみの既設ラインへの取付にも対応します。

ロールツーロールにてフィルム基板を連続的に表面処理することが可能です。

シート状ワークの処理も可能です。

処理ヘッドが小型のため、既設への取付も容易です。

仕様

処理方式	誘電体バリア放電(リモートプラズマ)
基板搬送	ロールツーロール(3インチ紙管対応、最大巻径150mm、搬送速度 1~15m/min) 真空吸着テーブル(330mm*410mm、搬送速度 ~15m/min)
プラズマ照射幅	330mm*3列
プラズマ発生用電源	入力3相200V, 50~60Hz, 消費電力 1.5kVA
ガス導入系	マスフローコントローラー(N2標準、その他のガス用はオプション)
操作系	手動操作
ユーティリティ	操作盤電源単相100V、500W(最大) 圧空 4kgf/cm2以上(真空吸着テーブル用エジェクター) N2ガス MIN40SLM/列使用ガスの種類、運転条件におり排気設備が必要となります。